Während die Niederlande voraussichtlich bestimmte ASML-Geräte auf ihre Liste mit Exportverboten setzen werden, ist davon auszugehen, dass die USA Beschränkungen für bestimmte Fabriken in Peking verhängen werden.
Seit Oktober letzten Jahres haben die USA aus Gründen der nationalen Sicherheit Beschränkungen für den Export von Werkzeugen zur Chipherstellung nach China von Unternehmen wie Lam Research und Applied Materials verhängt und eine Kampagne gestartet, um bei wichtigen „Gliedern“ der globalen Halbleiter-Lieferkette Lobbyarbeit zu betreiben, damit diese dasselbe tun.
Japan, Heimat der Chiphersteller Nikon Corp und Tokyo Electron Ltd, hat mit Wirkung vom 23. Juli ebenfalls Vorschriften zur Beschränkung des Exports von 23 Arten von Halbleiterfertigungsanlagen erlassen.
Die niederländische Regierung wird voraussichtlich am 30. Juni neue Exportkontrollen für Maschinen im tiefen Ultraviolett (DUV) ankündigen – die zweitbeste Gerätelinie von ASML nach Lithografiemaschinen im extremen Ultraviolett (EUV), die derzeit auf der Exportverbotsliste stehen.
ASML sagte im März, dass es davon ausgeht, dass die staatliche Regulierung auch die Produktlinie TWINSCAN NXT:2000i und komplexere Modelle umfassen könnte.
Doch auch ältere DUV-Modelle wie der TWINSCAN NXT:1980Di könnten von der Auslieferung an etwa sechs chinesische Produktionsstätten ausgeschlossen werden. Die neuen Regeln würden es Washington ermöglichen, bestimmte Halbleiterfabriken als „sanktioniert“ einzustufen und Exportbeschränkungen auch für Geräte mit geringem US-Anteil zu verhängen, so Reuters- Quellen.
Dem Plan zufolge soll die neue niederländische Regelung nicht sofort in Kraft treten, sondern ab September (zwei Monate nach der Ankündigung) umgesetzt werden.
Unterdessen könnten die USA bereits Ende Juli neue Beschränkungen ankündigen, indem sie Lizenzen für den Export von Geräten an bestimmte Halbleiterfabriken auf dem Festland verlangen, darunter eine Fabrik von SMIC, Chinas größtem Chiphersteller.
Neben dem weltweit führenden Chip-Ausrüster ASML werden auch mehrere andere Unternehmen von den neuen niederländischen Vorschriften betroffen sein, beispielsweise ASM International (Atomlagenabscheidungssysteme).
(Laut Reuters)
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